薄膜測厚儀是一種接觸式測厚設備，多采用高精度傳感器，因為它的測試只和微小位移有關，所以對試樣沒有選擇性。機械式測厚儀的測試精度主要取決于位移傳感器的精度，環境溫度和風速會影響傳感器的精度，因此必須在實驗室環境內使用。
薄膜測厚儀使用顯微光譜法在微小區域內通過反射率進行測量，可進行高精度膜厚度、光學常數分析?？赏ㄟ^非破壞性和非接觸方式測量涂膜的厚度，例如各種膜、晶片、光學材料和多層膜。測量時間上，能達到1秒/點的高速測量，并且搭載了即使是初次使用的用戶，也可容易出分析光學常數的軟件。
薄膜測厚儀的主要測量方法是機械接觸，可以嚴格按照標準要求確保測試的標準化和準確性。同時，在使用本儀器進行測量時，也應注意不要使本儀器所測量的產品超出量程，否則容易造成測厚精度的問題。測厚儀檢測系統具有支持數據實時顯示、自動統計、打印等功能，使客戶能夠更加方便快捷地獲得檢測結果，從而有效提高檢測效率。本儀器的系統通常采用微電腦控制，顯示器還配備了液晶，也為大家提供了更加人性化的操作界面。
薄膜測厚儀特點：
1.通過顯微光譜法測量高精度反射率（多層膜厚度，光學常數）；
2.頭部集成了薄膜厚度測量所需功能；
3.區域傳感器的安全機制；
4.顯微分光下廣范圍的光學系統（紫外至近紅外）；
5.高速測量；
6.測量頭對應各種客制化需求；
7.易于分析向導，初學者也能夠進行光學常數分析；
8.支持各種自定義。
